气浮光学平台服务介绍「志城精研」

随着***的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。为了提高旋转台系统的稳定性，我们可以将系统与振源隔离。外界的振源来源很多，比如地面的自振，各种声音等等。但是影响Z大的是各种低频的振源，主要集中在10～100Hz频率内。将系统与这些振源隔离可以有效的提高系统的稳定性。采用大阻尼的气囊支撑方式可以较好的将系统与振源隔离。

平台用仪器支架是光学平台应用的延伸，独立放置，可放置示波器、各种控制器、适配器电脑等，不仅可以充分利用光学平台上方的空间，且操作各类仪器时不影响平台的的稳定性。

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光学元件的形变是系统不稳定的第二大来源。即使将光学平台视作刚体，该刚体的固有振动依然会触发光学调整架的自然振动，导致光路不稳定。为了定量模拟光学调整架在典型实验室环境中可能产生的位移，我们将1英寸调整架固定于6英寸镜柱上，并在光学平台表面模拟类似于桌面上的风扇、电动位移台或其他声学扰动的宽带噪声。调整架的位移由一个不产生任何质量效应的激光测振仪来测量。实验使用了SmartTable主动阻尼光学平台，同时测量结构阻尼和主动阻尼的运动，以便充分地体现阻尼桌面的减振效果。