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光学平台厂家服务为先「志城精研」

发布时间:2022-07-21 15:06:00        作者:志城精研









随着***的设备和工艺的发展,使纳米量级的测量成为可能。例如,变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度,目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域,已生产出线宽在亚微米量级的集成电路,提出测量准确率小于50纳米的精度要求。为了提高旋转台系统的稳定性,我们可以将系统与振源隔离。外界的振源来源很多,比如地面的自振,各种声音等等。但是影响Z大的是各种低频的振源,主要集中在10~100Hz频率内。将系统与这些振源隔离可以有效的提高系统的稳定性。采用大阻尼的气囊支撑方式可以较好的将系统与振源隔离。



振动恢复时间(Damping Settling Time):

也叫衰减周期,是指:某一点上开始振动到恢复到初始状态所需要的Z短时间。若把光学平台简化为弹簧振子,由弹簧振子的回复力表达式:计算可知

● 增大弹簧的弹性系数k。对于阻尼隔振平台,可以换用材质较硬的阻尼材料;对于充气平台,可以适度增加空气压力

● 控制光学平台台面的质量。在不影响刚度的前提下,台面质量越轻,振动恢复时间越短,使用效果就越好。卓立的光学平台,采用精良铁磁不锈钢,上台面钢板厚度为4~6mm,在确保系统刚性的前提下,整体重量适中,可充分发挥出平台良好的隔振性能





光学平台隔振注意事项

无论何种激光应用,为维持光路稳定,振动隔离和桌面阻尼的重要性都是再强调也不为过。一套复杂的光学系统是否稳定,在很大程度上取决于光学平台和隔振腿的性能。随着应用的不断丰富,光学系统的设计正变得愈发复杂,也为光路稳定性带来更大挑战——如果安装使用不正确,将难以起到效果。

光学平台的作用是提供动态刚度(Dynamic rigidity)。光路的稳定性主要受桌面长轴方向上点对点的相对运动影响。这些相对运动产生于桌面上搭建的设备、空气调节(HVAC)系统以及其他声音来源。削减这些振动的方案是在来源处即行隔绝,比如在设备与桌面间放置柔性垫、为排气管增加挡板或使用隔声罩。需要注意的是,光学平台尽管提供了相对稳定的环境,但不能完全阻止来自桌面本身的振动,从而影响桌面上的其他设备。





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