志城精研公司-阻尼光学平台厂家

光学平台的台面设计，需要遵循一定的长厚比，一般取10：1左右，原则上不建议低于7：1 或高于15：1。但对于台面的隔振性能影响，容易被忽略的是内部支撑结构。国内的光学平台，多采用“米字形”或“井字形”支撑结构，国外的台面内部多采用真蜂窝支撑结构，经长时间、多方面的研究和验证，真蜂窝的支撑结构能更加有效地提高台面的隔振效果。光学平台系统包括光学台面和隔振腿。光学平台可放置仪器并对振动进行控制。光学平台台面是隔振系统中重要的一部分，其主要作用是提供一个无相对形变的刚性平台，当有振动源传递到桌面时，阻尼光学平台厂家，桌面蜂窝结构和阻尼可有效减弱光学平台振动变形。隔振腿除了支撑，主要作用是隔离来自地面的振动，隔振性能是其极为重要指标之一。其他性能还包括：各腿高度独立调节，自动水平，载重能力，高度可选，有无磁性等等。

振动恢复时间（Damping Settling Time）:

也叫衰减周期，是指：某一点上开始振动到恢复到初始状态所需要的Z短时间。若把光学平台简化为弹簧振子，由弹簧振子的回复力表达式：计算可知

● 增大弹簧的弹性系数k。对于阻尼隔振平台，可以换用材质较硬的阻尼材料；对于充气平台，可以适度增加空气压力

● 控制光学平台台面的质量。在不影响刚度的前提下，台面质量越轻，振动恢复时间越短，使用效果就越好。卓立的光学平台，采用精良铁磁不锈钢，上台面钢板厚度为4～6mm，在确保系统刚性的前提下，整体重量适中，可充分发挥出平台良好的隔振性能

随着***的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。这样的应用对系统中不同元件相关配合精度和稳定性提出了极高的要求。例如，用显微镜对图像进行高度放大的成像系统，显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。如果，在曝光过程中光学系统的每一部分(照明系统、样品、显微镜光学系统、成像光学系统和相纸平面)都准确地一同移动，不存在相对位移，成像也会很清晰。如果样品相对物镜产生了运动，则像就会模糊。在光学干涉测量、全息及运用相似的规律时，控制相对运动都是很重要的。