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纳米位移系统通常由三部分组成：位移台、驱动电机、控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩、加减速度、信号处理、使用功能( 如扫描、圆弧插补) 等性能参数，随着电机控制技术的提升，除了电移台机械部件以外，电机和控制器也从很大程度上影响电移台的振动、噪音及电移台的定位精度。而位移台作为整个位移系统的重点，系统的主要技术指标如：位移精度、行程、直线度、负载、稳定性、适应环境、外形尺寸等均由其决定。

电动位移台全称电控位移台:电控平移系统基本由三部分组成:位移台(机械部分)，驱动电机(驱动部分)，控制器(控制部分).驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩，分辨率，加减速度，信号处理，使用功能(如扫描，圆弧插补)等性能参数.位移台则是系统的心脏，主要技术指标如平移精度，行程，负载，稳定性，适用环境，电动升降台价格，外形尺寸均由其决定。

手动精密位移台是由手动微分头移动来决定行程的间距。移动的间距越大说明准确度越小，加工的产品越粗糙。手动精密位移台是一个完全靠手动之间的移动来实现产品之间的位置定位。手动精密位移台可以通过不同的二维调整架组合成不同的定位台。实现不同的调整架的的不同功能。手动精密位移台在生产加工和生产精度上是成反比例的，生产效率越高加工精度就越差。反之加工精度高生产效率就越低。