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光学仪器设备起雾的原因及其危害

雾是指光学零件的抛光面上，呈现出'露水'似的物质，这些物质有的是油质点子构成的，称为油性雾，有的是由水珠或水与玻璃起化学反应形成堆积物构成的，称为水性雾：有的光学零件上，两种雾都有，叫做水油混合雾，一般的都以'露水'状或干的堆积物存在于玻璃表面上。油性雾通常分布在元形光学零件的边缘，并向中央伸延，有的则沿擦拭痕迹分布，油性雾的形成主要是油脂污染了玻璃表面，阻尼光学平台定制，或是由于油脂的扩散，挥发在玻璃表面凝结而造成的，比如擦拭光学零件所用的辅料含脂量高，或者所用的工具带有油脂，用手指直接拿取和触及光学零件等，都会引起油性雾，或者是光学仪器上所用油脂的化学稳定性不好，产生扩散或使用方法不当涂油过多，油脂扩散到光学零件上而引起油性雾，或者是由于仪表油脂挥发性很大，会产生油质蒸气而形成油性雾。

随着***的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。这样的应用对系统中不同元件相关配合精度和稳定性提出了极高的要求。例如，用显微镜对图像进行高度放大的成像系统，显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。如果，在曝光过程中光学系统的每一部分(照明系统、样品、显微镜光学系统、成像光学系统和相纸平面)都准确地一同移动，不存在相对位移，成像也会很清晰。如果样品相对物镜产生了运动，则像就会模糊。在光学干涉测量、全息及运用相似的规律时，控制相对运动都是很重要的。

精密光学平台通过计算机的点差校准，需要计算机每次通过一个光学目标时，定向一个有限的波长作为校准，逐步的重复计算，有多少次以上就需要多少次重复，才能保证校准完成，基于单光束光场的校准，一方面需要一台或多台设备独立进行多光束光场的校准，另一方面，每次校准不仅要定向一个有限的波长，还要定向多个目标，通过相邻光束的检测，得到点差，然后再逐步重复计算，直到，用校准码算出激光束的方向，接下来对校准码与初始码的比对，校准码的特有性问题。