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光学平板在高精度的科学实验中,也是为严谨的科学实验做出了极大地贡献。下面我们就来了解一下光学平板到底是什么。
光学平板指的是光学平板的两面都被精密抛光,它通常作为分光镜或窗口等透过型元件,或被用作全反射镜或光学测量中的基准平面现象。
一般分为三种材料类型的光学平板:BK7,SFS 和准分子激光用 SFS。其中大部分产品有各种指标的组合:形状(圆形或方形),面精度(λ,λ/4,λ/10,λ/20),多种厚度和平行度。BK7基板常用于可见光和近红外区。从紫外到近红外,SFS的温度稳定性,耐热性都很好。准分子激光用SFS,用于高功率的准分子激光 KrF(248nm)时,具有低萤光特性。去除抛光面的次表面缺陷(微小裂纹),对于改善膜的质量,提高耐高功率激光的稳定性很重要。尽可能地控制磨料,温度和研磨过程,减少次表面缺陷。
光学面包板是一种蜂窝结构隔振平台台板,作为于光学实验、医学实验、高精度仪器生产检测、航天航空实验等的载体,因其具有高刚度低质量比率特点,能提高实验的精度、提供坚固安装平台的作用,其结构为蜂窝空心结构,包括上下面板、隔离杯和蜂窝状芯板;便于实验附件的固定安装,面板采用高导磁不锈钢,表面不生锈,保证了实验室清洁度;隔离杯采用的是拉伸铝冲压成型,可防止噪音在内部产生震荡给实验造成误差,同时能防尘、防水、防止小物品坠落到平台内部,便于清理;内部蜂窝状芯板采用的是梯形薄钢板相互対粘中间并夹有钢板形成的像蜂巢形状的结构,它能在降低芯板质量的情况下使刚度加强。
光学平台广泛运用于光学、电子、精密机械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和无损检测等领域,光学平板价格,以及其他机械行业的精密试验仪器、设备振动隔离的关键装置中。 随着***的设备和工艺的发展,使纳米量级的测量成为可能。例如,变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度,目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域,已生产出线宽在亚微米量级的集成电路,提出测量准确率小于50纳米的精度要求。