光学面包板-合肥光学平板-志城精研

早期的双面加工，是在一般的二轴机上，采用上下平模，使用挡圈和分离片对平板的两个面同时进行加工，其装置如图12-1所示，主要进行精磨和抛光的双面加工。加工时，下模1随机床主轴转动，上模5在摆架带动下摆动，合肥光学平板，同时随下模的转动而转动，其转动没有动力，被加工平板2放在分离片3内，摆动的上模将带动挡圈，从而带动被加工平板在下模平面上平动，同时平板亦可以在分离片圈内随上下模的转动而转动。

光学平台广泛运用于光学、电子、精密机械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和无损检测等领域，光学平板定制，以及其他机械行业的精密试验仪器、设备振动隔离的关键装置中。     随着***的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，光学平板尺寸定制，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。

目前国内外一般较为成熟的隔振技术为被动隔振技术，但被动隔振技术对于隔离低频和超低频振动效果不理想。另外由于其特征值为定值，光学面包板，响应时间比较长，又缺乏灵活的控制算法，所以不适合高精度、快响应的振动控制要求。而主动隔振技术由于采取对振动系统实行闭环校正，在复合激励环境下具有较强的抗干扰能力，因而具有理想的隔振效果，正逐步应用于精密制造、测试与装配的高精密的隔振平台中。