企业等级: | 普通会员 |
经营模式: | 生产加工 |
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光学平板在高精度的科学实验中,也是为严谨的科学实验做出了极大地贡献。下面我们就来了解一下光学平板到底是什么。
光学平板指的是光学平板的两面都被精密抛光,武汉光学平板,它通常作为分光镜或窗口等透过型元件,或被用作全反射镜或光学测量中的基准平面现象。
一般分为三种材料类型的光学平板:BK7,SFS 和准分子激光用 SFS。其中大部分产品有各种指标的组合:形状(圆形或方形),面精度(λ,λ/4,λ/10,λ/20),多种厚度和平行度。BK7基板常用于可见光和近红外区。从紫外到近红外,SFS的温度稳定性,耐热性都很好。准分子激光用SFS,用于高功率的准分子激光 KrF(248nm)时,具有低萤光特性。去除抛光面的次表面缺陷(微小裂纹),对于改善膜的质量,提高耐高功率激光的稳定性很重要。尽可能地控制磨料,温度和研磨过程,减少次表面缺陷。
用显微镜对图像进行高度放大的成像系统,显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。如果,光学平板定制,在曝光过程中光学系统的每一部分(照明系统、样品、显微镜光学系统、成像光学系统和相纸平面)都准确地一同移动,不存在相对位移,成像也会很清晰。如果样品相对物镜产生了运动,精密光学平板厂家,则像就会模糊。在光学干涉测量、全息及运用相似的规律时,控制相对运动都是很重要的。
这种双面加工,一般速度不高。下模比较大,上模比较小,挡圈直径比上模大,比下模小。适当地调节上模的摆动量,精密光学平板,可以实现平板的上下表面同时精磨或抛光。研磨或抛光时,人工将磨料或抛光粉间断地添加到下模和平板的表面。这种低速的双面加工,比单面加工提高了效率,但被加工的平面度和双面的平行度则达不到很高的要求,所以只适用于般精度平板的加工。
随着大规模、超大规模集成电路制造技术的发展,由于大批量半导体硅片加工的需要,国外出现了双面高速加工机床,适用于半导体硅片的双面研磨和抛光,进而被推广到高速研磨抛光光电仪器中的光学平板。