武汉志城精研(图)-光学面包板-光学平板

隔振光学平台武汉聚光有各种不同长度和宽度的尺寸。这些隔振光学平台采用全钢结构， 具有很好的热稳定性，光学平板尺寸定制， 以及每个尺寸的宽带阻尼都经过了优化。5 mm厚的不锈钢顶板和底板经过哑光处理，顶板经过精密加工，在任意1平方米内的表面平整度为±0.1 mm。这些平台具有密封的1/4英寸-20(M6)安装孔，孔的中心间距为1英寸(25 mm)，边缘小孔距平台边缘0.5英寸(12.5 mm)。

这种双面加工，一般速度不高。下模比较大，上模比较小，挡圈直径比上模大，比下模小。适当地调节上模的摆动量，光学面包板，可以实现平板的上下表面同时精磨或抛光。研磨或抛光时，人工将磨料或抛光粉间断地添加到下模和平板的表面。这种低速的双面加工，比单面加工提高了效率，但被加工的平面度和双面的平行度则达不到很高的要求，所以只适用于般精度平板的加工。

随着大规模、超大规模集成电路制造技术的发展，由于大批量半导体硅片加工的需要，国外出现了双面高速加工机床，适用于半导体硅片的双面研磨和抛光，进而被推广到高速研磨抛光光电仪器中的光学平板。

光学平台广泛运用于光学、电子、精密机械制造、冶金、航天、航空、航海、精密化工和无损检测等领域，以及其他机械行业的精密试验仪器、设备振动隔离的关键装置中。     随着***的设备和工艺的发展，精密光学平板，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，光学平板，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。