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光学平台广泛使用的振动响应传递函数为柔量。在恒定(静态)力的情况下,柔量可以定义为线性或角度错位与所施加外力的比值。在动态变化力(振动)的情况下,柔量则可以定义为受激振幅(角度或线性错位)与振动力振幅的比值。平台的任意挠度都可以通过安装在平台表面的部件相对位置变化表现出来。因此,根据定义,柔量值越小,光学平台就越接近设计的首要目标:将挠度小化。柔量是与频率相关的,其测量单位为没单位力的错位量(米/牛顿)

光学平台怎么清理掉里面的东西呢,气浮光学平台价格,这要看你掉的是什么样的物件了,如果平台重量不是很重,可以把平台翻转过来,用气流吹,看能否掉出来,估计这个动作很难做到,平板重量都不轻。可以试试用真空吸头吸出来,如果是小物件一吸就吸出来了。

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随着***的设备和工艺的发展,使纳米量级的测量成为可能。例如,变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度,目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域,已生产出线宽在亚微米量级的集成电路,提出测量准确率小于50纳米的精度要求。这样的应用对系统中不同元件相关配合精度和稳定性提出了极高的要求。例如,用显微镜对图像进行高度放大的成像系统,显微镜和照像物镜共同决定了相纸上每点的图像。如果,在曝光过程中光学系统的每一部分(照明系统、样品、显微镜光学系统、成像光学系统和相纸平面)都准确地一同移动,不存在相对位移,成像也会很清晰。如果样品相对物镜产生了运动,则像就会模糊。在光学干涉测量、全息及运用相似的规律时,控制相对运动都是很重要的。
