志城精研科技(多图)-气浮隔振平台定制

随着***的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。为了提高旋转台系统的稳定性，我们可以将系统与振源隔离。外界的振源来源很多，比如地面的自振，各种声音等等。但是影响Z大的是各种低频的振源，主要集中在10～100Hz频率内。将系统与这些振源隔离可以有效的提高系统的稳定性。采用大阻尼的气囊支撑方式可以较好的将系统与振源隔离。

光学平台的硬重比对于其共振频率有着重要的影响。较高的硬重比可以提高平台的共振频率，从而降低其在外界影响下的振动。而且在外力作用下，具有较高硬重比的平台可以在较小的重量下产生比较小的变形，增加系统内部的刚性。内部采用蜂窝状支撑结构的光学平台可以充分的提高硬重比，达到提高系统性能的目的。

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精密光学平台通过计算机的点差校准，需要计算机每次通过一个光学目标时，定向一个有限的波长作为校准，气浮隔振平台定制，逐步的重复计算，有多少次以上就需要多少次重复，才能保证校准完成，基于单光束光场的校准，一方面需要一台或多台设备独立进行多光束光场的校准，另一方面，每次校准不仅要定向一个有限的波长，还要定向多个目标，通过相邻光束的检测，得到点差，然后再逐步重复计算，直到，用校准码算出激光束的方向，接下来对校准码与初始码的比对，校准码的特有性问题。