武汉志城精研(多图)-气浮隔振平台

控制振动的作用。将系统组装成动态的刚性结构可以保证系统内部的相对稳定性，且可以降低在外界的影响下产生共振的几率，提高系统的稳定性。控制静力矩的作用。光学平台的硬重比对于其共振频率有着重要的影响。较高的硬重比可以提高平台的共振频率，从而降低其在外界影响下的振动。而且在外力作用下，具有较高硬重比的平台可以在Z小的重量下产生Z小的变形，增加系统内部的刚性。内部采用蜂窝状支撑结构的光学平台可以充分的提高硬重比，达到提高系统性能的目的。

随着***的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，气浮隔振平台，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。为了提高旋转台系统的稳定性，我们可以将系统与振源隔离。外界的振源来源很多，比如地面的自振，各种声音等等。但是影响Z大的是各种低频的振源，主要集中在10～100Hz频率内。将系统与这些振源隔离可以有效的提高系统的稳定性。采用大阻尼的气囊支撑方式可以较好的将系统与振源隔离。

全世界光学平台的主要生产和出口国是美国、日本、德国，基本表现为技术密集型产品。发达国家已于20世纪80年代实现光学平台高科技、高水平、顶端技术产品，比如国外的A&P INSTRUMENT CO，LTD所生产的Newport隔振平台系列产品在国外市场上深受科研用户信赖。未来10年，发达国家将进一步推动光学平台仪器实现光机电仪一体化和智能化目标，推动具有优异性能的光电器件和功能材料的开发及应用，并将加速现代光学平台设备的发展。由天CCD器件、半导体激光器、红外仪器、光纤传感器待制造技术趋于成熟，也为光学平台设备的发展提供了更加宽广的空间。